MSE法とは


MSE試験評価法の概要

 MSE法は、長年摩耗とエロージョンを研究してきた福井大学岩井善郎教授が原理と手法を着想・具現化し、共同研究を継続実施してきた㈱パルメソにおいて試験装置が開発され、現在に至っています。
 水に微小な標準粒子(MSEの基準粒子)を混在させたスラリーを高精度なウェットブラスト技術を用いて試料表面に投射します。標準粒子は、1.2μmのアルミナ粒子としていますが、種々の材質やサイズの粒子を評価サンプルに対応させて使いわけます。大量の標準粒子(数億個/秒)が高速(最大100m/s程度、時速に換算すると360km/h)で投射されます。粒子の衝突によって表面に発生する(標準粒子1個の衝突深さは10~50nmと推定される)マイクロ・ナノスケールのエロージョンは材料の表面の強さや変質・劣化と相関があることから、エロージョン量を高精度で計測(分解能10nm)することにより、表面から内部までの特性をシームレスに評価することができます。


MSE試験法の原理

評価特性

  • 強度比較(基材とコーティング膜、同一材料、異種材料、等)
  • 深さ方向プロファイル(強度分布)
  • 層ごとの厚さ測定
  • 界面部の強度測定
  • 表面の変質・劣化状態測定、等


アプリケーション

先頭に戻る

用途

【評価】
  • 表面のナノ・マイクロスケールの強度特性評価
  • あらゆる薄膜や材料の表面および内部方向の特性評価
  • 劣化診断
  • 品質検査、等
【加工】
  • 精密表面加工(テキスチャリング)
  • 表面除去加工、等

対象材料

  • 硬質薄膜(PVD/CVD膜、例えば、TiN、TiC、TiCN、CrN、DLC、等)
  • 軟質薄膜(塗装、カラーフィルター、光学膜、ITOフィルム、等)
  • 多層膜(工具コーティング、光学レンズコーティング、等)
  • 各種表面処理材料(焼入れ、窒化、めっき、化成被膜、傾斜膜、等)
  • バルク材(Siウェハ、Al、SUS、SK85、サファイア、超硬合金、等)
  • 樹脂系材料(Si、ポリイミド、PET、PEEK、PTFE、等)
  • ゴム系材料(フッ素ゴム、天然ゴム、ウレタンゴム、エラストマー、等)
  • セラミック系材料(CBN焼結体、ダイヤモンド焼結体、等)
  • その他、高分子膜、太陽電池薄膜、液晶保護フィルム、バイオ膜、等